Abstract The human motor system has a hierarchical control during finger movements. The non-primary motor cortex (premotor cortex, PM, and supplementary motor area, SMA) organizes motor planning, while the primary motor cortex (M1) is responsible for motor execution. We utilized the human intracranial EEG’s high temporal and spatial resolution to investigate how the temporal dynamics of the high-gamma neural oscillations in the hierarchically organized motor sub-regions, during both pre-movement planning and motor execution, correlated with reaction times (RTs) in a cued finger movement task. Our results showed that the high-gamma power of PM, SMA, and M1 activated sequentially. More importantly, the sustained high-gamma power activation in the non-primary motor cortex and the peak latency of high-gamma power in M1 had a significant predictive relationship with the RTs. In particular, the faster the activation of the non-primary motor cortex returned to baseline, the faster the motor command in M1, and accordingly the shorter the RTs. Further, pairwise phase coherence between the motor areas showed that the more sustained the connection between the motor areas, the longer the RTs would be. The current findings illustrate the relationship between the temporal profiles of high-gamma power in human motor areas and response performance.