MH
Masahiro Hirano
Author with expertise in Zinc Oxide Nanostructures
Achievements
Cited Author
Key Stats
Upvotes received:
0
Publications:
23
(17% Open Access)
Cited by:
26,160
h-index:
87
/
i10-index:
358
Reputation
Biology
< 1%
Chemistry
< 1%
Economics
< 1%
Show more
How is this calculated?
Publications
0

Amorphous Oxide Semiconductors for High-Performance Flexible Thin-Film Transistors

Kenji Nomura et al.May 1, 2006
Recently, we have demonstrated the potential of amorphous oxide semiconductors (AOSs) for developing flexible thin-film transistors (TFTs). A material exploration of AOSs desired as the channel layer in TFTs is most important for developing high-performance devices. Here, we report our concept of material exploration for AOSs in high-performance flexible and transparent TFTs from the viewpoints of chemical bonding and electronic structure in oxide semiconductors. We find that amorphous In–Ga–Zn–O (a-IGZO) exhibits good carrier transport properties such as reasonably high Hall mobilities (>10 cm2·V-1·s-1) and a good controllability of carrier concentration from <1015 to 1020 cm-3. In addition, a-IGZO films have better chemical stabilities in ambient atmosphere and at temperatures up to 500 °C. The flexible and transparent TFT fabricated using a-IGZO channel layer at room temperature operated with excellent performances, such as normally-off characteristics, on/off current ratios (∼106) and field-effect mobilities (∼10 cm2·V-1·s-1), which are higher by an order of magnitude than those of amorphous Si:H and organics TFTs.
Load More